1980年代から、半導体のエッチングガスとして使用されている化学物質で、人工的温室効果ガス。HFCsほどの使用量には達しないものの、CFCsの規制とともに、最近、使用料が急増している。100年間のGWPは、二酸化炭素の6500～9200倍。京都議定書で削減対象の温室効果ガスの一つとされた。（PFCs）
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